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| Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文 Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764 作者: Bi, Dan-Dan; Zhang, Li-Chao; Shi, Guang 浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:253/98  |  提交时间:2019/09/17 Optical films Integrated circuit manufacture Irradiation Lithography Optical coatings Optical systems |
| Evaluation of absorption measurement uncertainty of laser calorimeter by exponential method 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 2 作者: Gu, Y.-Q.; L.-C. Zhang; X.-Y. Wu; L. Mei and G. Shi Adobe PDF(803Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:368/59  |  提交时间:2017/09/11 |
| 深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 赵灵 Adobe PDF(3284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:392/1  |  提交时间:2015/05/03 深紫外 光学薄膜 吸收 激光量热法 |
| 应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 701-711 作者: 武潇野; 张立超; 时光 caj(424Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:243/83  |  提交时间:2015/04/17 光热方法 光声法 激光量热法 激光辐照 检测技术 |
| 激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193 作者: 赵灵; 武潇野; 谷勇强; 时光; 梅林; 才玺坤; 张立超 caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:305/120  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 薄膜材料 193nm激光器 激光量热法 吸收系数 |
| P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 靳京城 Adobe PDF(2780Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/2  |  提交时间:2014/08/21 |
| 用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征 期刊论文 中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 1002005 作者: 邓文渊; 金春水 Adobe PDF(830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:486/128  |  提交时间:2012/05/11 |