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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
 caj(411Kb) |  收藏 | 浏览/下载：382/124 | 提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
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薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
 浏览 | Adobe PDF(284Kb) | 收藏 | 浏览/下载：346/105 | 提交时间：2018/06/13 |
| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
浏览 | Adobe PDF(603Kb) | 收藏 | 浏览/下载：306/106 | 提交时间：2018/06/13 |
| 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者: 王珣; 金春水; 李春; 匡尚奇
caj(1793Kb) | 收藏 | 浏览/下载：275/108 | 提交时间：2016/07/06
薄膜 极紫外保护层 直流反应磁控溅射 迟滞回线 |
| Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者: Wang, X.; C. Jin; C. Li and S. Kuang
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| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
 Adobe PDF(1786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：436/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波; 金方圆
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薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 |
| 极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波
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极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 |
| 变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 宋源
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同步辐射 变包含角平面光栅 单色器 分辨率 聚焦常数 热分析 机械精度检测 |
