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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/115  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：299/130  |  提交时间：2017/09/17
衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
多级微反射镜对准误差的分析与抑制 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 3, 页码: 290-297
作者:  吕金光;  梁静秋;  梁中翥;  秦余欣
caj(1236Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/108  |  提交时间：2017/09/17
光谱学  傅里叶变换光谱仪  对准误差  区域补偿  多级微反射镜  
基于光学相干和微弱信号检测的干涉探测技术 期刊论文
光学学报, 2016, 页码: 127-133
作者:  董磊;  王斌;  刘欣悦
caj(251Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：385/110  |  提交时间：2018/04/09
测量  相干光学  干涉探测  白光干涉  微弱信号检测  信噪比  
微小型傅里叶变换光谱仪光场分析与衍射抑制 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 334-341
作者:  吕金光;  梁静秋;  梁中翥;  秦余欣
caj(314Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：408/110  |  提交时间：2017/09/17
光谱学  空间光调制器  标量衍射  干涉  
利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 7, 页码: 131-138
作者:  程强;  薛栋林
caj(380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/105  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  相位差异  波前传感  离轴三反光学系统  同轴三反光学系统  辅助装调  
光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 8, 页码: 155-165
作者:  师途;  臧仲明;  刘东;  杨甬英;  种诗尧;  张磊;  白剑;  沈亦兵;  苗亮;  黄玮
caj(441Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/116  |  提交时间：2017/09/17
测量  干涉  非球面检测  非零位  回程误差  校正方法  
2m量级SiC非球面反射镜的摆臂轮廓检测 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 166-172
作者:  熊玲;  罗霄;  刘振宇;  郑立功;  张峰;  张学军
caj(1505Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/122  |  提交时间：2016/07/06
测量  摆臂轮廓检测  大口径非球面  Sic  最接近球面  
静态傅里叶变换光谱仪补偿板的旋转对干涉图谱的调制研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 11, 页码: 315-322
作者:  吕金光;  梁静秋;  梁中翥;  秦余欣;  田超
caj(1266Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/136  |  提交时间：2016/07/06
光谱学  傅里叶变换光谱仪  调制  补偿板  旋转角