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光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 8, 页码: 155-165
作者:  师途;  臧仲明;  刘东;  杨甬英;  种诗尧;  张磊;  白剑;  沈亦兵;  苗亮;  黄玮
caj(441Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:385/99  |  提交时间:2017/09/17
测量  干涉  非球面检测  非零位  回程误差  校正方法