利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调

	利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调
	程强; 薛栋林
	2016
发表期刊	光学学报
期号	7 页码:131-138
摘要	阐述了基于相位差异(PD)的波前传感技术的基本原理;仿真分析了PD技术的噪声适应性及探测器离焦误差对精度的影响;利用PD技术的波前传感结果分别辅助装调了离轴、同轴三反光学系统,并分别将多视场的波前图与干涉检验的结果进行对比。实验结果表明,利用PD技术可实现三反光学系统的波前传感及辅助装调。与干涉检验的结果相比,波前传感结果的RMS偏差均优于0.02λ,检测精度满足工程需求。
关键词	成像系统相位差异波前传感离轴三反光学系统同轴三反光学系统辅助装调
语种	中文
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57923
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	程强,薛栋林. 利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调[J]. 光学学报,2016(7):131-138.
APA	程强,&薛栋林.(2016).利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调.光学学报(7),131-138.
MLA	程强,et al."利用相位差异波前传感检测结果实现三反光学系统的辅助装调".光学学报 .7(2016):131-138.