Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光学非球面面形非零位检测的回程误差校正 | |
师途; 臧仲明; 刘东; 杨甬英; 种诗尧; 张磊; 白剑; 沈亦兵; 苗亮 ; 黄玮
| |
| 2016 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 8页码:155-165 |
| 摘要 | 光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差两部分,分析其对最终检测结果的影响。然后介绍了实际检测中常用的回程误差校正方法的原理,通过仿真实验对比各种方法对不同非球面度、不同面形误差大小的被测非球面的校正效果,并结合方法原理和仿真结果分析了不同方法的回程误差校正能力,总结其适用范围。 |
| 关键词 | 测量 干涉 非球面检测 非零位 回程误差 校正方法 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57585 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 师途,臧仲明,刘东,等. 光学非球面面形非零位检测的回程误差校正[J]. 光学学报,2016(8):155-165. |
| APA | 师途.,臧仲明.,刘东.,杨甬英.,种诗尧.,...&黄玮.(2016).光学非球面面形非零位检测的回程误差校正.光学学报(8),155-165. |
| MLA | 师途,et al."光学非球面面形非零位检测的回程误差校正".光学学报 .8(2016):155-165. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光学非球面面形非零位检测的回程误差校正.（441KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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