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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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王学亮 [4]
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Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens
期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:
Zhao, L.
;
Dong, L. J.
;
Yu, X. F.
;
Li, P. Z.
;
Qiao, Y. F.
Adobe PDF(2985Kb)
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浏览/下载:344/110
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提交时间:2019/09/17
adaptive optics
deformable mirror
performance
simulation
systems
design
Optics
光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验
期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:
东立剑
;
崔庆龙
;
李朋志
;
赵磊
caj(3959Kb)
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浏览/下载:337/88
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提交时间:2018/04/09
光学设计
光刻物镜
热像差
主动光学
像散
响应函数
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:
赵磊
;
梁超
;
张德福
;
东立剑
;
彭海峰
caj(585Kb)
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浏览/下载:377/105
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提交时间:2017/09/17
柔顺并联机构
光学元件微动调整
位姿正解
伪刚体模型
矢量代数法
雅克比矩阵
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 10, 页码: 43-48
作者:
赵磊
;
彭海峰
;
于新峰
;
东立剑
caj(657Kb)
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提交时间:2016/07/06
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:
东立剑
;
赵磊
;
张德福
;
于新峰
;
倪明阳
;
李显凌
caj(1604Kb)
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浏览/下载:300/71
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提交时间:2016/07/06
成像系统
主动光学
像散补偿
有限元分析
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:
赵阳
;
王平
;
赵磊
;
刘春来
;
华洋洋
;
门树东
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浏览/下载:334/109
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提交时间:2015/04/17
几何光学
复杂系统装调
补偿量选择
奇异值分解
失调量向量
补偿量相关性
基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置
期刊论文
液晶与显示, 2014, 期号: 1, 页码: 94-100
作者:
赵磊
;
王学亮
;
巩岩
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浏览/下载:352/118
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提交时间:2015/04/17
标准白场
Fpga
液晶显示屏
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究
期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:
张德福
;
赵磊
caj(660Kb)
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浏览/下载:293/72
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提交时间:2015/04/17
光刻投影物镜
微调整机构
光机结构
波像差
直梁圆角形柔性铰链的柔度矩阵分析
期刊论文
中国机械工程, 2013, 期号: 18, 页码: 2462-2468
作者:
赵磊
;
巩岩
;
华洋洋
caj(484Kb)
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浏览/下载:443/125
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提交时间:2014/03/07
直梁圆角形柔性铰链
柔顺机构
柔度矩阵
有限元法
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:
赵磊
;
巩岩
;
赵阳
caj(1756Kb)
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浏览/下载:414/129
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提交时间:2014/03/07
光刻物镜
柔性铰链
微动调整机构
系统波像差