Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 | |
赵磊 ; 巩岩; 赵阳
| |
| 2013-06-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 06页码:1425-1433 |
| 摘要 | 针对光刻投影物镜中透镜X-Y调整机构调整量程小、调整精度高的特点,提出了一种基于柔性铰链的X-Y微动调整机构,并将其应用在光刻投影物镜模型中进行了实验验证。首先,基于机构自由度和机构瞬心等概念介绍了该机构的工作原理。然后,用柔性铰链代替传统铰链完成了该机构的结构设计,并对该机构的运动方向刚度、位移输入-输出比以及固有频率和阵型等进行了仿真分析。分析结果表明:该机构X,Y方向的刚度值为1.99μm/N和1.96μm/N,X,Y方向的位移输入-输出比值分别为-2.5和-2.56,机构X,Y方向运动的原理误差分别为实际量的8.22%和6.68%。最后,将研制的X-Y微动调整机构用于光刻投影物镜验证模型中,给出了X-Y调整机构补偿前后的系统波像差。结果显示:模型补偿前后的系统波像差RMS分别为50.864nm和25.933nm。由此表明,本文设计的柔性微动调整机构补偿效果明显,能够满足光刻投影物镜高精度X-Y调整补偿要求。 |
| 关键词 | 光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39009 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,赵阳. 光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构[J]. 光学精密工程,2013(06):1425-1433. |
| APA | 赵磊,巩岩,&赵阳.(2013).光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构.光学精密工程(06),1425-1433. |
| MLA | 赵磊,et al."光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构".光学精密工程 .06(2013):1425-1433. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻投影物镜中的透镜X_Y柔性微动调整机（1756KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [赵磊]的文章 |
| [巩岩]的文章 |
| [赵阳]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [赵磊]的文章 |
| [巩岩]的文章 |
| [赵阳]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [赵磊]的文章 |
| [巩岩]的文章 |
| [赵阳]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论