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| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202 作者: 孙诗壮; 金春水 ; 喻波 ; 郭涛; 姚舜 ; 李春 ; 邓文渊
浏览  |   Adobe PDF(2105Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:569/101  |  提交时间:2021/07/06 薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性 期刊论文 中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 02, 页码: 371-381 作者: 郑长彬 ; 邵俊峰 ; 李雪雷; 王化龙 ; 王春锐 ; 陈飞 ; 王挺峰 ; 郭劲
caj(2029Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:513/70  |  提交时间:2020/08/24 激光烧蚀 激光损伤 硅基多层膜 损伤阈值 |
| 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文 光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60 作者: 匡尚奇; 张超; 李硕; 杨海贵 ; 霍同林; 周洪军
 收藏  |  浏览/下载:269/0  |  提交时间:2019/09/17 光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 |
| 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30 作者: 王一名; 张超; 孙秀平; 匡尚奇; 杨海贵
 收藏  |  浏览/下载:524/0  |  提交时间:2019/09/17 薄膜光学 薄膜表征 掠入射X射线反射 云模型量子进化算法 极紫外多层膜 单层膜 |
| 极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文 光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406 作者: 匡尚奇; 李硕; 杨海贵 ; 霍同林; 周洪军
 收藏  |  浏览/下载:207/0  |  提交时间:2019/09/17 多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者: 宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏 ; 王依 ; 彭忠琦
caj(411Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:464/150  |  提交时间:2018/04/09 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056 作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
caj(654Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:492/140  |  提交时间:2018/04/09 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 347-355 作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
caj(892Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:466/170  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4 作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
caj(1233Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:452/244  |  提交时间:2017/09/17 Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水 ; 王春忠
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