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| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者: 孙诗壮; 金春水 ; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊
 浏览 |  Adobe PDF(2105Kb) |  收藏 | 浏览/下载：192/48 | 提交时间：2021/07/06
薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| 飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 02, 页码: 371-381
作者: 郑长彬; 邵俊峰; 李雪雷; 王化龙; 王春锐; 陈飞; 王挺峰; 郭劲
caj(2029Kb) | 收藏 | 浏览/下载：180/50 | 提交时间：2020/08/24
激光烧蚀 激光损伤 硅基多层膜 损伤阈值 |
| 基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者: 匡尚奇; 张超; 李硕; 杨海贵; 霍同林; 周洪军
 收藏 | 浏览/下载：196/0 | 提交时间：2019/09/17
光学多层膜 膜系设计 量子遗传算法 宽带极紫外多层膜 离散化设计 |
| 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者: 王一名; 张超; 孙秀平; 匡尚奇; 杨海贵
收藏 | 浏览/下载：230/0 | 提交时间：2019/09/17
薄膜光学 薄膜表征 掠入射X射线反射 云模型量子进化算法 极紫外多层膜 单层膜 |
| 极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者: 匡尚奇; 李硕; 杨海贵; 霍同林; 周洪军
收藏 | 浏览/下载：173/0 | 提交时间：2019/09/17
多层膜设计 极紫外 离散化设计 宽带多层膜 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
caj(411Kb) | 收藏 | 浏览/下载：399/130 | 提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
caj(654Kb) | 收藏 | 浏览/下载：392/121 | 提交时间：2018/04/09
薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
caj(892Kb) | 收藏 | 浏览/下载：383/130 | 提交时间：2018/04/09
薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者: 梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
caj(1233Kb) | 收藏 | 浏览/下载：358/180 | 提交时间：2017/09/17
Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者: 喻波; 李春; 金春水; 王春忠
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薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
