Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用 | |
梅雪峰; 匡尚奇; 谢耀
| |
| 2016-08-15 | |
| 发表期刊 | 长春理工大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 4 |
| 摘要 | 针对EUV多层膜的表征和设计过程中普遍采用的遗传算法(GA)存在的大种群和求解效率低的问题,本文将实数编码量子进化算法(QEA)应用于EUV多层膜的表征和宽光谱EUV多层膜的设计过程中。分别采用实数编码GA和QEA对理论仿真的EUV多层膜的X射线掠入射反射谱进行反演拟合和宽光谱EUV多层膜的反射谱进行设计,进而将QEA在EUV多层膜表征和设计方面的性能进行对比分析。分析结果表明,QEA在多层膜的表征方面具有小种群和反演求解效率高的优点,多层膜的膜厚拟合精度可达±0.1nm;在多层膜设计方面,量子进化算法同样具有小种群的优势,同时求解效率较GA算法接近,设计的多层膜反射率带宽为13~15nm,反射率可达25%。相关工作展现出QEA算法在多层膜研发方面的应用价值,为进一步工作打下基础。 |
| 关键词 | Euv多层膜 量子进化算法 膜系设计 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58018 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梅雪峰,匡尚奇,谢耀. 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2016(4). |
| APA | 梅雪峰,匡尚奇,&谢耀.(2016).量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用.长春理工大学学报(自然科学版)(4). |
| MLA | 梅雪峰,et al."量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的应用".长春理工大学学报(自然科学版) .4(2016). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 量子进化算法在极紫外多层膜表征和设计中的（1233KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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