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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
 caj(411Kb) |  收藏 | 浏览/下载：379/124 | 提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
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光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
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| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者: 鹿国庆; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
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光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |
| Time behavior and optimum conditions for the Xe gas extreme ultraviolet source 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 24
作者: Zhao Y. P.; Xu Q.; Xiao D. L.; Ding N.; Xie Y.; Li Q.; Wang Q.
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| Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107
作者: 王平; 王汝冬; 田伟; 王立朋; 隋永新; 杨怀江
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