已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:172/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:193/0  |  提交时间:2020/08/24 投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 李朋志 caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:172/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文 博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 周泽龙 caj(5354Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:231/0  |  提交时间:2019/09/23 投影光刻物镜 偏振像差 琼斯矩阵 穆勒矩阵 |
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福 caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:403/123  |  提交时间:2018/04/09 光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 302-310 作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊 caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:336/88  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643 作者: 张春雷; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军 caj(596Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:389/122  |  提交时间:2017/09/17 氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者: 董世则 收藏  |  浏览/下载:233/0  |  提交时间:2017/09/17 狭缝柔性结构 光刻物镜 调节机构 导向精度 精度测试 |
| 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268 作者: 姚长呈; 巩岩 caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:268/131  |  提交时间:2017/09/17 光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散 |
| 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77 作者: 高松涛; 武东城; 于长淞 caj(3281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:379/106  |  提交时间:2017/09/17 测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 |