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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：588/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
caj(8435Kb) | 收藏 | 浏览/下载：418/0 | 提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
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光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
caj(5354Kb) | 收藏 | 浏览/下载：364/0 | 提交时间：2019/09/23
投影光刻物镜 偏振像差 琼斯矩阵 穆勒矩阵 |
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福
 caj(1307Kb) | 收藏 | 浏览/下载：486/155 | 提交时间：2018/04/09
光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊
caj(3959Kb) | 收藏 | 浏览/下载：418/102 | 提交时间：2018/04/09
光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者: 张春雷; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
caj(596Kb) | 收藏 | 浏览/下载：537/168 | 提交时间：2017/09/17
氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 董世则
收藏 | 浏览/下载：341/0 | 提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构 光刻物镜 调节机构 导向精度 精度测试 |
| 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者: 姚长呈; 巩岩
caj(1449Kb) | 收藏 | 浏览/下载：398/164 | 提交时间：2017/09/17
光学设计 主动光学 光刻物镜 热像差补偿 像散 |
| 用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 9, 页码: 70-77
作者: 高松涛; 武东城; 于长淞
caj(3281Kb) | 收藏 | 浏览/下载：450/130 | 提交时间：2017/09/17
测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 |
