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光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/119  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：273/74  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/64  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度  
机器人足部柔性传感装置研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 09, 页码: 867-873
作者:  王绍治;  刘健;  张玲花;  陈华男
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/132  |  提交时间：2014/03/07
柔性传感装置  足底倾角  力/力矩传感  信号调理  
光学加工中真空夹具设计及分析 期刊论文
真空, 2013, 期号: 04, 页码: 78-82
作者:  陈华男;  李显凌;  孙振
caj(581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/89  |  提交时间：2014/03/07
真空夹具  光学元件  防护层  光学加工  
光学元件双转子抛光技术中类高斯型去除函数建模与逼近 期刊论文
光子学报, 2013, 期号: 03, 页码: 282-287
作者:  陈华男;  王君林;  李显凌;  王绍治
caj(653Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/84  |  提交时间：2014/03/07
双转子  离散点弧长  “花瓣”型截面磨头  曲线逼近  类高斯去除函数  
超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除 期刊论文
光子学报, 2013, 期号: 04, 页码: 417-422
作者:  陈华男;  王君林;  刘健
caj(1466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/101  |  提交时间：2014/03/07
小磨头  超光滑加工  均匀去除  等值驻留时间