Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 | |
董世则; 郭抗 ; 李显凌; 陈华男; 张德福
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| 2017-12-12 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 页码 | 790-797 |
| 摘要 | 设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构,使光学元件在具备较高调节精度的同时,保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度,以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数,对狭缝柔性结构尺寸参数进行了优化,在不超过柔性结构材料屈服应力等约束条件下,刚度比最优值达到1 573.6,较大的刚度比值可以减小调节机构的耦合位移,从而提高机构的导向精度。该结构加工装配方便,可实现三自由度(θx-θy-Z)调节。对优化后的柔性结构进行仿真分析,结果表明:径向刚度与轴向刚度比值的仿真值为1 660.4,解析值与仿真值误差为5.23%,证明了刚度分析方法的有效性。优化后的结构,轴向调节行程为2.09 mm,绕x轴偏转角度调节行程为±16.6 mrad,绕y轴偏转角度调节行程可达到±14.4 mrad,满足光学元件调节的大行程要求。 |
| 关键词 | 光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| DOI | 930589AFAD62531DD4708B35BE28CBF7 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58554 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董世则,郭抗,李显凌,等. 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析[J]. 中国光学,2017:790-797. |
| APA | 董世则,郭抗,李显凌,陈华男,&张德福.(2017).光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析.中国光学,790-797. |
| MLA | 董世则,et al."光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析".中国光学 (2017):790-797. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析.c（1307KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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