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| 五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202
作者: 吕强; 王玮; 刘兆武; 宋莹; 姜珊; 刘林; 巴音贺希格; 李文昊
 浏览 |  Adobe PDF(3195Kb) |  收藏 | 浏览/下载：144/50 | 提交时间：2021/07/06
衍射光栅 精密测量 五维自由度 |
| 基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 吕强
 caj(7246Kb) | 收藏 | 浏览/下载：110/0 | 提交时间：2020/08/24
精密测量 衍射光栅 多维度 大量程 误差分析 外差测量 Littow结构 |
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 糜小涛
caj(5660Kb) | 收藏 | 浏览/下载：142/0 | 提交时间：2019/09/23
衍射光栅 光栅刻划机 微定位系统 控制器设计 刻线误差 测量系统 余弦误差 阿贝误差 大气折射率 衍射波前 基底面形误差 镀膜均匀性 |
| 用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者: 沈晨; 谭鑫; 朱继伟; 张伟 ; 齐向东
收藏 | 浏览/下载：216/0 | 提交时间：2019/09/17
衍射光栅 曲面闪耀光栅 光栅刻蚀 三维工作台 圆弧拟合算法 轨迹误差 |
| 残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 06, 页码: 58-62
作者: 张宝庆; 王占鹏; 庞壮; 韦赟杰; 孙立华; 高劲松
收藏 | 浏览/下载：166/0 | 提交时间：2019/09/17
残余应力 基底效应 纳米压痕 衍射光栅 |
| 中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 02, 页码: 96-99
作者: 张宝庆; 王占鹏; 高劲松
收藏 | 浏览/下载：134/0 | 提交时间：2019/09/17
衍射光栅 铝膜 基底 硬度 尺度效应 |
| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
caj(3271Kb) | 收藏 | 浏览/下载：549/117 | 提交时间：2018/04/09
衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb) | 收藏 | 浏览/下载：322/135 | 提交时间：2016/07/06
光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者: 张成山; 孟庆孔
caj(242Kb) | 收藏 | 浏览/下载：270/63 | 提交时间：2015/04/17
光电式光栅刻划机 衍射光栅干涉仪 莫尔条纹 |
| 大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 1, 页码: 42-45
作者: 糜小涛
caj(267Kb) | 收藏 | 浏览/下载：257/69 | 提交时间：2015/04/17
衍射光栅刻划机 刀架导轨 静力学分析 |
