中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条

帮助

已选(0)清除条数/页：排序方式：
	用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析期刊论文光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596 作者: 沈晨; 谭鑫; 朱继伟; 张伟; 齐向东收藏 \| 浏览/下载：215/0 \| 提交时间：2019/09/17 衍射光栅曲面闪耀光栅光栅刻蚀三维工作台圆弧拟合算法轨迹误差
	Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596 作者: Shen, Chen; Tan, Xin; Zhu, Ji-Wei; Zhang, Wei; Qi, Xiang-Dong 浏览 \| Adobe PDF(1093Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：246/117 \| 提交时间：2019/09/17 Curve fitting Diffraction gratings Errors Etching
	高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究学位论文博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 沈晨 caj(7770Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：183/0 \| 提交时间：2019/09/23 曲面光栅离子束刻蚀机三维工作台凸面光栅摆动刻蚀硅改性RB-SiC

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所