Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究 | |
张宝庆; 王占鹏; 高劲松
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 制造技术与机床
 |
| 期号 | 02页码:96-99 |
| 摘要 | 铝薄膜硬度对机械刻制中阶梯母光栅质量影响显著,常采用纳米压入方法进行硬度测试。由于薄膜"三明治"式复合结构,进一步增加薄膜硬度表征的困难。为探究光栅厚铝薄膜的硬度特性,对其做浅压深和大压深纳米压痕实验,基于Nix-Gao模型和压痕功法,进行实验数据拟合与分析。结果显示,衍射光栅铝膜的本征硬度为0.480 6 GPa,浅压深拟合得到的尺度效应特征长度为0.38μm,大压深拟合得到的尺度效应长度为2.22μm,此研究揭示出基底存在尺度效应,为中阶梯衍射光栅厚铝膜的硬度研究提供参考和指导。 |
| 关键词 | 衍射光栅 铝膜 基底 硬度 尺度效应 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61538 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宝庆,王占鹏,高劲松. 中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究[J]. 制造技术与机床,2018(02):96-99. |
| APA | 张宝庆,王占鹏,&高劲松.(2018).中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究.制造技术与机床(02),96-99. |
| MLA | 张宝庆,et al."中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究".制造技术与机床 .02(2018):96-99. |
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