CIOMP OpenIR
中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究
张宝庆; 王占鹏; 高劲松
2018
发表期刊制造技术与机床
期号02页码:96-99
摘要铝薄膜硬度对机械刻制中阶梯母光栅质量影响显著,常采用纳米压入方法进行硬度测试。由于薄膜"三明治"式复合结构,进一步增加薄膜硬度表征的困难。为探究光栅厚铝薄膜的硬度特性,对其做浅压深和大压深纳米压痕实验,基于Nix-Gao模型和压痕功法,进行实验数据拟合与分析。结果显示,衍射光栅铝膜的本征硬度为0.480 6 GPa,浅压深拟合得到的尺度效应特征长度为0.38μm,大压深拟合得到的尺度效应长度为2.22μm,此研究揭示出基底存在尺度效应,为中阶梯衍射光栅厚铝膜的硬度研究提供参考和指导。
关键词衍射光栅 铝膜 基底 硬度 尺度效应
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61538
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张宝庆,王占鹏,高劲松. 中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究[J]. 制造技术与机床,2018(02):96-99.
APA 张宝庆,王占鹏,&高劲松.(2018).中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究.制造技术与机床(02),96-99.
MLA 张宝庆,et al."中阶梯衍射光栅厚铝膜硬度研究".制造技术与机床 .02(2018):96-99.
条目包含的文件
条目无相关文件。
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[张宝庆]的文章
[王占鹏]的文章
[高劲松]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[张宝庆]的文章
[王占鹏]的文章
[高劲松]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[张宝庆]的文章
[王占鹏]的文章
[高劲松]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。