Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 | |
沈晨; 谭鑫; 朱继伟; 张伟 ; 齐向东
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 03页码:588-596 |
| 摘要 | 制作高闪耀角一致性的曲面闪耀光栅需要工作台能够进行曲线拟合运动,因此针对曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的控制算法开展研究。首先,介绍了曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的原理方案。接着,根据曲面刻蚀机的实际使用要求,给出了工作台运动轨迹的理论计算方法。然后,提出了一种适用于工作台的圆弧拟合算法,实现了工作台所需的曲线拟合运动。最后,在多组工作参数下开展了三维工作台运动轨迹的测量实验,并将理想轨迹与实测轨迹进行了对比。实验结果表明:工作台进行15个周期的直线拟合运动的累积定位误差小于0.218mm,角度误差小于0.02°;进行40个周期的曲线拟合运动的累积定位误差小于0.2mm,转角误差在-0.2°~0.1°。此方法实现了三维运动工作台扫描刻蚀与摆动刻蚀的功能,工作台的稳定性、精度、抗干扰能力满足设备使用要求。 |
| 关键词 | 衍射光栅 曲面闪耀光栅 光栅刻蚀 三维工作台 圆弧拟合算法 轨迹误差 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61528 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈晨,谭鑫,朱继伟,等. 用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析[J]. 光学精密工程,2018(03):588-596. |
| APA | 沈晨,谭鑫,朱继伟,张伟,&齐向东.(2018).用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析.光学精密工程(03),588-596. |
| MLA | 沈晨,et al."用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析".光学精密工程 .03(2018):588-596. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [沈晨]的文章 |
| [谭鑫]的文章 |
| [朱继伟]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [沈晨]的文章 |
| [谭鑫]的文章 |
| [朱继伟]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [沈晨]的文章 |
| [谭鑫]的文章 |
| [朱继伟]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论