Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 | |
| 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国 | |
| 2015-04-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 04页码:266-272 |
| 摘要 | 尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该误差对刻划刀具运动轨迹的影响,并使用双频激光干涉仪测量刻划过程中刻划刀具运动的直线度误差。测量结果表明,金刚石刀具系统单向行程400 mm时,该误差约为200 nm,小于使用石英导轨承载刀具系统时的误差,同时在高频振动方面有明显改善。刻制一段79 gr/mm,400 mm×500 mm的中阶梯光栅,观察其衍射光斑并使用照度计检测得其不同位置杂散光强度为0.2‰~5‰,实验结果表明使用气浮导轨承载刻划刀具可以满足光栅刻划精度要求。 |
| 关键词 | 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53457 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋楠,冯树龙,于海利,等. 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析[J]. 中国激光,2015(04):266-272. |
| APA | 宋楠,冯树龙,于海利,齐向东,巴音贺希格,&唐玉国.(2015).大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析.中国激光(04),266-272. |
| MLA | 宋楠,et al."大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析".中国激光 .04(2015):266-272. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析.ca（1313KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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