|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| 机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者: 张宝庆; 张绍泽; 曹聪; 高劲松
 浏览 |  Adobe PDF(1587Kb) |  收藏 | 浏览/下载：119/41 | 提交时间：2021/07/06
机刻光栅 复合基底 残余应力 薄膜 压痕 模拟 |
| 大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 姚雪峰
 caj(23894Kb) | 收藏 | 浏览/下载：249/0 | 提交时间：2019/09/23
光栅刻划机 机刻光栅 研磨加工 传动精度测量 宏微双重驱动 |
| 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 糜小涛
caj(5660Kb) | 收藏 | 浏览/下载：142/0 | 提交时间：2019/09/23
衍射光栅 光栅刻划机 微定位系统 控制器设计 刻线误差 测量系统 余弦误差 阿贝误差 大气折射率 衍射波前 基底面形误差 镀膜均匀性 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan
浏览 | Adobe PDF(3436Kb) | 收藏 | 浏览/下载：339/117 | 提交时间：2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig
浏览 | Adobe PDF(4373Kb) | 收藏 | 浏览/下载：271/80 | 提交时间：2018/06/13 |
| Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者: Liu, Z.-W.; W.-H. Li; J.-K. Wang; S. Jiang; Y. Song; M.-Z. Pan and Bayanheshig
浏览 | Adobe PDF(624Kb) | 收藏 | 浏览/下载：305/87 | 提交时间：2017/09/11 |
| Development and error compensation of the high precision turntable 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 5
作者: Yao, X.; C. Sun; J. Yang; L. Yin and H. Zhao
浏览 | Adobe PDF(1139Kb) | 收藏 | 浏览/下载：385/134 | 提交时间：2017/09/11 |
| 大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 09, 页码: 2057-2067
作者: 何煦; 成贤锴
caj(1827Kb) | 收藏 | 浏览/下载：244/90 | 提交时间：2016/07/06
中阶梯光栅 衍射效率 测试仪器 设计与标校 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb) | 收藏 | 浏览/下载：320/134 | 提交时间：2016/07/06
光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 745-752
作者: 糜小涛; 于宏柱; 于海利; 姚雪峰; 宋楠; 冯树龙; 齐向东
caj(388Kb) | 收藏 | 浏览/下载：338/91 | 提交时间：2016/07/06
光栅刻划机 衍射光纤 双拉杆结构 单拉杆结构 石英导轨 |
