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适用于光黏工艺的干涉仪公差保证方法 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 08, 页码: 1945-1953
作者:  姚东;  李钰鹏;  赵亚;  王智;  沙巍;  王永宪
收藏  |  浏览/下载：208/0  |  提交时间：2019/09/17
激光干涉仪  氢氧离子催化黏接  高精度测量  高精度装配  空间太极计划  
基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/112  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/92  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/126  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
空间引力波探测计划-LISA系统设计要点 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 980-987
作者:  王智;  马军;  李静秋
caj(867Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：264/82  |  提交时间：2016/07/06
引力波  激光干涉仪  望远镜  
绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 92-93+96
作者:  郑黎明
caj(584Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：202/92  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  精度检测  激光干涉仪  精度修正  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/134  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/113  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪  
丝杠螺母副轴向窜动误差分析及测量系统设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 397-401
作者:  姚雪峰;  于海利;  冯树龙;  齐向东
caj(281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：546/126  |  提交时间：2013/03/11
丝杠螺母副  精密仪器  轴向窜动  误差分析  非接触式测量  双频激光干涉仪