绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法

	绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法
	郑黎明
	2015-07-28
发表期刊	机电产品开发与创新
期号	04 页码:92-93+96
摘要	针对绝对式光栅尺产品的精度检测需求,对精度检测设备进行了设计。首先根据光栅尺产品的精度参数,确定检测手段和检测指标,介绍了检测过程存在的基本误差项。然后给出了检测设备详细的检测方案,并对该方案进行了误差分析。最终给出了绝对式光栅尺产品的精度检测与修正方法。检测与修正试验表明修正后光栅尺精度达到±1μm/m。
关键词	绝对式光栅尺精度检测激光干涉仪精度修正
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53931
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	郑黎明. 绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法[J]. 机电产品开发与创新,2015(04):92-93+96.
APA	郑黎明.(2015).绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法.机电产品开发与创新(04),92-93+96.
MLA	郑黎明."绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法".机电产品开发与创新 .04(2015):92-93+96.