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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 赵磊 caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:178/0  |  提交时间:2020/08/24 投影光刻物镜 像质补偿技术 柔顺微动机构 主动变形镜 |
| 光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 302-310 作者: 东立剑; 崔庆龙; 李朋志; 赵磊 caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:334/88  |  提交时间:2018/04/09 光学设计 光刻物镜 热像差 主动光学 像散 响应函数 |
| 基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381 作者: 赵磊; 梁超; 张德福; 东立剑; 彭海峰 caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:374/105  |  提交时间:2017/09/17 柔顺并联机构 光学元件微动调整 位姿正解 伪刚体模型 矢量代数法 雅克比矩阵 |
| 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201210206727.6, 申请日期: 2014-08-20, 公开日期: 2014-08-20 发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 孙振 Adobe PDF(1336Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:413/117  |  提交时间:2015/02/10 |
| 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233 作者: 赵阳; 王平; 赵磊; 刘春来; 华洋洋; 门树东 caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/107  |  提交时间:2015/04/17 几何光学 复杂系统装调 补偿量选择 奇异值分解 失调量向量 补偿量相关性 |
| 基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置 期刊论文 液晶与显示, 2014, 期号: 1, 页码: 94-100 作者: 赵磊; 王学亮; 巩岩 caj(739Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:344/113  |  提交时间:2015/04/17 标准白场 Fpga 液晶显示屏 |
| 基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文 仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275 作者: 张德福; 赵磊 caj(660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:285/69  |  提交时间:2015/04/17 光刻投影物镜 微调整机构 光机结构 波像差 |
| 直梁圆角形柔性铰链的柔度矩阵分析 期刊论文 中国机械工程, 2013, 期号: 18, 页码: 2462-2468 作者: 赵磊; 巩岩; 华洋洋 caj(484Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:436/122  |  提交时间:2014/03/07 直梁圆角形柔性铰链 柔顺机构 柔度矩阵 有限元法 |
| 光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文 光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433 作者: 赵磊; 巩岩; 赵阳 caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:403/125  |  提交时间:2014/03/07 光刻物镜 柔性铰链 微动调整机构 系统波像差 |
| 直梁圆角型柔性铰链的回转精度分析 期刊论文 中国机械工程, 2013, 期号: 06, 页码: 715-720 作者: 赵磊; 巩岩 caj(806Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:284/48  |  提交时间:2014/03/07 直梁圆角型柔性铰链 柔顺机构 回转精度 有限元 |