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| 基于夹层结构的长波红外超表面吸收器设计研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 罗奕 caj(5531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:110/0  |  提交时间:2020/08/24 超表面 长波红外 宽带吸收器 微桥结构 |
| 低阶梯多级微反射镜高度误差分析及制作研究 期刊论文 中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 04, 页码: 791-803 作者: 张敏; 吕金光; 梁静秋; 梁中翥; 秦余欣; 王维彪 caj(404Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:182/40  |  提交时间:2020/08/24 傅立叶变换红外光谱仪 低阶梯多级微反射镜 高度误差分析 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦 caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:388/127  |  提交时间:2018/04/09 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056 作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀 caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:381/118  |  提交时间:2018/04/09 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 170-175 作者: 王依; 卢启鹏; 高云国 caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:337/114  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 137-144 作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵 caj(2225Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:361/126  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文 光学学报, 2017, 页码: 347-355 作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀 caj(892Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:372/122  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8 作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie Adobe PDF(867Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:298/91  |  提交时间:2018/06/13 |
| Electrostatic field assisted micro imprint lithography technology 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 3 作者: Liu, M.-Z.; T.-S. Wang; H.-F. Li; Z.-Y. Liu; Z.-L. Chen and W.-X. Yu Adobe PDF(947Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:324/84  |  提交时间:2018/06/13 |
| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3 作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao 浏览  |  Adobe PDF(284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:357/110  |  提交时间:2018/06/13 |