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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏 ; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
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极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者: 匡尚奇; 张超; 王一名; 周祥燕; 谢耀
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薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜 |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者: 王依; 卢启鹏; 高云国
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薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 基于量子衍生遗传算法的光学薄膜结构分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 137-144
作者: 周祥燕; 张超; 匡尚奇; 龚学鹏; 杨海贵
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薄膜 薄膜表征 量子衍生遗传算法 掠入射x射线反射 |
| 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者: 张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀
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薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜 |
| Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者: Kuang, S.-Q.; C. Zhang; Y.-M. Wang; X.-Y. Zhou and Y. Xie
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| Electrostatic field assisted micro imprint lithography technology 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 3
作者: Liu, M.-Z.; T.-S. Wang; H.-F. Li; Z.-Y. Liu; Z.-L. Chen and W.-X. Yu
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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao
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| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng
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| Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, C.; J. Zhang; Y. Wang; S. Kuang and Y. Xie
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