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| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者: 鹿国庆; 卢启鹏 ; 彭忠琦; 龚学鹏
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光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |
| 热释电红外探测器的吸收层与辐射调制、微扫描技术 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 郝东亮
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热释电 红外探测器 吸收层 辐射调制 微扫描 |
| 透明有机薄膜晶体管的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 张楠
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透明电子学 透明导电薄膜 有机薄膜晶体管 透明有机薄膜晶体管 |
| 新型叠层透明导电薄膜的研制 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 佐婧
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溶胶-凝胶技术 电子束蒸镀技术 透明导电薄膜 叠层结构 V2o5/ag/v2o5 Bao/au/bao Lif/ag/lif |
| 用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台 期刊论文
电子测试, 2013, 期号: 09, 页码: 255-257
作者: 刘世界; 尼启良; 陈波; 何玲平; 王海峰
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极紫外 多层膜 反射率测量 |
| 月基极紫外相机多层膜反射镜 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者: 刘震; 高劲松; 陈波; 王彤彤; 王笑夷; 申振峰; 陈红
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极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 反射率 等离子体层 |
