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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 148-156
作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华
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衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 233-240
作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东
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全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| 红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 248-254
作者: 曹佃生; 林冠宇; 闻宝朋; 刘旭堂
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光谱学 双光栅光谱仪 凹面光栅 正弦机构 误差分析 |
| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
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光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231
作者: 卢禹先; 齐向东; 于海利; 李晓天; 张善文; 姜珊; 尹禄
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衍射 拼接精度 夫琅禾费原理 复制拼接技术 |
| 扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 李晓天; 吕强
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测量 光检测技术 二维工作台 测量镜面形 光栅 激光干涉仪 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
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光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229
作者: 何天博; 巴音贺希格; 张善文; 李文昊; 唐玉国
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光栅 体全息光栅 衍射特性 混合调制 衰减光栅 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
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光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者: 方超; 向阳
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测量 横向剪切干涉仪 相移算法 相位复原 |
