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基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 224-231
作者:  卢禹先;  齐向东;  于海利;  李晓天;  张善文;  姜珊;  尹禄
caj(1457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：359/102  |  提交时间：2017/09/17
衍射  拼接精度  夫琅禾费原理  复制拼接技术  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/101  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差