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大口径望远镜镜面视宁度检测方法综述 期刊论文
红外与激光工程, 2022, 页码: 17
作者:  朱嘉康;  安其昌;  杨飞
Adobe PDF(1243Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：93/41  |  提交时间：2023/05/18
像场调制傅里叶变换成像光谱仪的建模与实验研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 18, 页码: 117-124
作者:  吕金光;  赵百轩;  梁静秋;  王维彪;  秦余欣;  陶金
Adobe PDF(2963Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：233/57  |  提交时间：2021/07/06
成像系统  光谱学  成像光谱仪  像场调制  干涉成像  
Modeling and Experiment of Image Field Modulated Fourier Transform Imaging Spectrometer 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 18
作者:  J. Lu,B. Zhao,J. Liang,W. Wang,Y. Qin and J. Tao
Adobe PDF(2963Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：121/49  |  提交时间：2021/07/06
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：263/0  |  提交时间：2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度  
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：184/0  |  提交时间：2019/09/17
测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差  
Optical Design of Infrared Bispectrum Fourier Transform Imaging Spectrometer; 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 3
作者:  Ji, Yunbing;  Liang, Jingqiu;  Liang, Zhongzhu;  Lu, Jinguang;  Qin, Yuxin;  Wang, Weibiao;  Tao, Jin;  Meng, Dejia
Adobe PDF(863Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：350/116  |  提交时间：2019/09/17
Optical transfer function  Diffraction  Fourier transforms  Imaging systems  Infrared radiation  Modulation  Optical beam splitters  Optical design  Optical systems  Spectrometers  
Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：261/100  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts