Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析 | |
曹佃生; 林冠宇; 闻宝朋; 刘旭堂 | |
2017 | |
发表期刊 | 中国激光 |
页码 | 248-254 |
摘要 | 为满足红外双光栅光谱仪波长重复性±0.05nm的指标要求,设计了光谱仪的波长扫描机构,分析了影响波长重复性的误差源。根据光谱仪结构特点和指标要求,设计了基于丝杠和摆杆的正弦机构作为波长扫描机构,依据凹面光栅扫描原理,推导了光机参数转换公式,分析了各误差源对波长扫描机构的影响。分析结果表明,在丝杠重复定位精度为±1.2μm时,光谱仪在760~2200nm波段范围内的重复性应优于±0.05nm。设计了红外双光栅光谱仪原理样机,并进行了实验验证。以汞灯为光源对其多个特征波长进行7次扫描,计算波长扫描机构在特征波长处的波长重复性。实验结果表明,光谱仪的波长重复性为-0.038~0.041nm,波长扫描机构满足使用要求。 |
关键词 | 光谱学 双光栅光谱仪 凹面光栅 正弦机构 误差分析 |
DOI | 823C85DBE76399DA3F0622A4B73284E7 |
语种 | 中文 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58795 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹佃生,林冠宇,闻宝朋,等. 红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析[J]. 中国激光,2017:248-254. |
APA | 曹佃生,林冠宇,闻宝朋,&刘旭堂.(2017).红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析.中国激光,248-254. |
MLA | 曹佃生,et al."红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分析".中国激光 (2017):248-254. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
红外双光栅光谱仪波长扫描机构设计与精度分(301KB) | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 |
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