Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 | |
张德福 ; 李显凌; 葛川; 倪明阳; 郭抗
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| 2016-06-15 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
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| 期号 | 6页码:1210-1217 |
| 摘要 | 针对光学精密工程中位移检测问题,研制了一种电容式位移传感器线性度标定装置。阐明了标定装置的组成和标定方法的原理,该装置采用运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的设计方案,从测量原理上降低了阿贝误差。基于伪刚体模型和拉格朗日方程建立了机构位移、刚度、强度和固有频率的理论模型,为机构优化设计提供理论依据。计算和仿真结果表明理论模型和有限元分析误差分别为3.764%、3.908%、14.842%和2.666%。试验结果表明行程测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为9.254%和13.524%,刚度测试值与理论值、有限元计算值的误差分别为8.472%和11.914%。标定后传感器测试线性度由0.057 48%提高至0.004 39%,测试精度改善明显,能够满足光学精密位移测试需求。表明所搭建的标定装置有效,且建立的机构理论模型和分析方法可信。 |
| 关键词 | 柔性机构 伪刚体模型 传感器 线性度 标定 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57731 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德福,李显凌,葛川,等. 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计[J]. 仪器仪表学报,2016(6):1210-1217. |
| APA | 张德福,李显凌,葛川,倪明阳,&郭抗.(2016).面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计.仪器仪表学报(6),1210-1217. |
| MLA | 张德福,et al."面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计".仪器仪表学报 .6(2016):1210-1217. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构（4315KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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