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三级公自转行星系统中弯月透镜表面膜厚均匀性的研究 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 10, 页码: 264-272
作者:  张静;  陈延涵;  朱忠尧;  付秀华;  张功;  齐双阳;  常艳贺;  杨飞;  金海俊;  陆致远
浏览  |  Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：115/47  |  提交时间：2023/05/18
Mechanism of a-AlN Surface Morphology Evolution by High Temperature Annealing 期刊论文
Faguang Xuebao/Chinese Journal of Luminescence, 2021, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 810-817
作者:  J.-E. Sui;  J.-W. Ben;  H. Zang;  K. Jiang;  S.-L. Zhang;  B.-L. Guo;  Y. Chen;  Z.-M. Shi;  Y.-P. Jia;  D.-B. Li and X.-J. Sun
浏览  |  Adobe PDF(3595Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：167/72  |  提交时间：2022/06/13
离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/134  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/79  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
Surface modification of 2 m RB-SiC substrate by magnetron sputtering 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 7
作者:  Liu, Z.;  J.-S. Gao;  H. Liu;  X.-Y. Wang and T.-T. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1031Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：267/79  |  提交时间：2017/09/11
大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
Adobe PDF(3757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/3  |  提交时间：2016/04/11
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:  Wang, H.;  F. Zhou;  B. Yu;  Y. Xie;  J. Yu;  Y. Liu and L. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/92  |  提交时间：2016/08/24
大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 02, 页码: 195-199
作者:  张方程;  于海利;  周敬萱
caj(300Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：496/101  |  提交时间：2014/03/07
镀膜机  中阶梯光栅  膜层均匀性  
球面旋涂光刻胶工艺 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 1810-1815
作者:  冯晓国;  赵晶丽;  高劲松;  张红胜;  程志峰
Adobe PDF(1406Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：522/209  |  提交时间：2012/05/11