Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究 | |
| 张方程; 于海利; 周敬萱 | |
| 2013-04-15 | |
| 发表期刊 | 长春工业大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 02页码:195-199 |
| 摘要 | 以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。 |
| 关键词 | 镀膜机 中阶梯光栅 膜层均匀性 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38322 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张方程,于海利,周敬萱. 大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2013(02):195-199. |
| APA | 张方程,于海利,&周敬萱.(2013).大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究.长春工业大学学报(自然科学版)(02),195-199. |
| MLA | 张方程,et al."大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究".长春工业大学学报(自然科学版) .02(2013):195-199. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究.caj（300KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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