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基底温度对中阶梯光栅厚铝膜质量的影响 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 656-662
作者:  孙梦至;  高劲松;  李资政;  杨海贵;  王笑夷
caj(258Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/112  |  提交时间：2017/09/17
中阶梯光栅  厚铝膜  基底温度  
大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  孙梦至
Adobe PDF(3757Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/3  |  提交时间：2016/04/11
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  多步沉积  
具有大面积均匀性、高质量的大尺寸中阶梯光栅铝膜的研究 期刊论文
物理学报, 2014, 期号: 15, 页码: 396-401
作者:  李资政;  杨海贵;  王笑夷;  高劲松
caj(2578Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/82  |  提交时间：2015/04/17
中阶梯光栅  高质量铝膜  大面积均匀性  表面粗糙度  
Investigations of high-quality aluminum film with large-area uniformity for large-size echelle grating 期刊论文
Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica, 2014, 卷号: 63, 期号: 15
作者:  Li Z.-Z.;  Yang H.-G.;  Wang X.-Y.;  Gao J.-S.
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