Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
球面旋涂光刻胶工艺 | |
冯晓国; 赵晶丽; 高劲松; 张红胜; 程志峰 | |
2011-08-20 | |
发表期刊 | 光学 精密工程 |
ISSN | 1004-924X |
卷号 | 19期号:8页码:1810-1815 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3945 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国,赵晶丽,高劲松,等. 球面旋涂光刻胶工艺[J]. 光学 精密工程,2011,19(8):1810-1815. |
APA | 冯晓国,赵晶丽,高劲松,张红胜,&程志峰.(2011).球面旋涂光刻胶工艺.光学 精密工程,19(8),1810-1815. |
MLA | 冯晓国,et al."球面旋涂光刻胶工艺".光学 精密工程 19.8(2011):1810-1815. |
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