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大尺寸天文光栅铝膜均匀性研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2019, 卷号: 42, 期号: 01, 页码: 49-53
作者:  周敬萱;  糜小涛;  张善文;  齐向东;  付新华
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天文光栅  蒸气发射特性  铝膜厚度均匀性  
大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2013, 期号: 02, 页码: 195-199
作者:  张方程;  于海利;  周敬萱
caj(300Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/102  |  提交时间：2014/03/07
镀膜机  中阶梯光栅  膜层均匀性