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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 276-283
作者:  贾树强;  黄玮;  徐象如;  姚长呈
caj(1656Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：311/112  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  表面变形  面形补偿  预紧力  有限元方法  
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：268/131  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散  
多光谱消色差成像流式细胞仪的光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 9, 页码: 257-266
作者:  李灿;  郭帮辉;  孙竹
caj(1715Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/100  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  成像流式细胞仪  宽波段  
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/100  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
便携式调制传递函数测试仪的研制 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-101
作者:  袁理;  张晓辉;  刘振江;  韩冰;  聂真威
caj(1089Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/116  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  调制传递函数测试仪  图像处理  可见光镜头  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/87  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:  赵阳;  王平;  史振广;  谷勇强;  刘春来;  门树东
caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/106  |  提交时间：2016/07/06
几何光学  三叶像差  面形精修  条纹泽尼克多项式  
轻小型可见/近红外实时成像光谱仪的光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 06, 页码: 329-336
作者:  刘兵;  刘英;  李灿;  王健;  李淳;  孙强
caj(1480Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：332/112  |  提交时间：2016/07/06
光谱学  可见/近红外  棱镜分光  实时成像光谱仪  
成像光谱仪大孔径前置物镜设计研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 02, 页码: 276-283
作者:  于建冬;  梁中翥;  梁静秋;  吕金光;  秦余欣;  田超;  王维彪
caj(1347Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：237/86  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  傅里叶变换成像光谱仪  红外系统  片状分束器