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| Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者: Dong, L.; Q. Cui; P. Li and L. Zhao
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| 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者: 赵阳; 王平 ; 史振广; 谷勇强; 刘春来; 门树东
 caj(3398Kb) | 收藏 | 浏览/下载：266/103 | 提交时间：2016/07/06
几何光学 三叶像差 面形精修 条纹泽尼克多项式 |
| 自由曲面表征函数及其应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王超
Adobe PDF(5325Kb) | 收藏 | 浏览/下载：499/3 | 提交时间：2014/08/21 |
| 含非球面头罩的光学系统像差校正技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王超
Adobe PDF(4139Kb) | 收藏 | 浏览/下载：346/4 | 提交时间：2014/08/21 |
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 赵菲菲
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计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
