Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 | |
徐象如; 黄玮 ; 贾树强; 徐明飞
| |
| 2015-10-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 10页码:111-118 |
| 摘要 | 热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、偏心或倾斜量来调节像质;元件分区加热法利用光学材料折射率随温度变化的特点,通过控制元件的温度分布产生可控波前。采用上述补偿方案对偶极照明模式下的热像差进行补偿,波像差从129.78 nm减小至1.69 nm,畸变从12.24 nm减小至1.31 nm,将物镜像质补偿至接近设计水平。 |
| 关键词 | 成像系统 投影光刻物镜 热像差 元件位移 分区加热 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54114 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐象如,黄玮,贾树强,等. 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究[J]. 光学学报,2015(10):111-118. |
| APA | 徐象如,黄玮,贾树强,&徐明飞.(2015).同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究.光学学报(10),111-118. |
| MLA | 徐象如,et al."同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究".光学学报 .10(2015):111-118. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方（1710KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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