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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/143  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率  
应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:  鹿国庆;  吴义恒;  李伶俐;  卢启鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：387/173  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计  
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/128  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/131  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：568/206  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/131  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/172  |  提交时间：2015/04/17
极紫外光刻  碳污染检测  光纤椭偏仪