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极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：466/168  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒