Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 | |
王君; 金春水 ; 王丽萍; 郭本银; 喻波
| |
| 2014-08-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 8页码:143-150 |
| 摘要 | 极紫外光刻投影系统中高反膜厚度一般约300nm,远大于13.5nm的工作波长,光能并不能完全穿透膜层入射到基底,从而引入数倍于波长的额外光程差,降低系统成像质量。从能量调制的角度提出了一种基于能量守恒定律的多层膜等效工作界面模型,将光学薄膜中复杂的物理光学过程等效地转换为简单直观的几何光学过程,获取可被常用光学设计软件识别的数据,进而实现对有膜光学系统的分析。利用该模型对不同系统进行了分析优化,获得了一套可实现衍射受限成像的有膜系统方案,证明了基于能量守恒的等效工作界面的有效性,指导后续系统的装调,为多次反射系统的分析提供了一种方法。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42887 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王君,金春水,王丽萍,等. 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用[J]. 光学学报,2014(8):143-150. |
| APA | 王君,金春水,王丽萍,郭本银,&喻波.(2014).极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用.光学学报(8),143-150. |
| MLA | 王君,et al."极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用".光学学报 .8(2014):143-150. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立（491KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [王君]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [王丽萍]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [王君]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [王丽萍]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [王君]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [王丽萍]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论