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应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:  鹿国庆;  吴义恒;  李伶俐;  卢启鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/142  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计