Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外光学器件辐照污染检测技术 | |
王珣; 金春水 ; 匡尚奇; 喻波
| |
| 2014-02-15 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 1页码:79-88 |
| 摘要 | 总结并讨论了极紫外光刻技术中,有关极紫外光学器件受辐照污染的在线检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理;指出光刻系统中在线检测的技术要求;分析了目前几种主要表面检测技术的特点;给出了每种方法在极紫外光学系统中的应用潜力;最后,指出光纤椭偏仪在极紫外光学系统的在线表面污染检测中具有良好的应用前景。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42622 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王珣,金春水,匡尚奇,等. 极紫外光学器件辐照污染检测技术[J]. 中国光学,2014(1):79-88. |
| APA | 王珣,金春水,匡尚奇,&喻波.(2014).极紫外光学器件辐照污染检测技术.中国光学(1),79-88. |
| MLA | 王珣,et al."极紫外光学器件辐照污染检测技术".中国光学 .1(2014):79-88. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外光学器件辐照污染检测技术.caj（413KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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