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光学元件表面疵病检测仪的精度建模及预测 期刊论文
机械设计与制造, 2018, 期号: 06, 页码: 98-101
作者:  杨荟琦;  李显凌
收藏  |  浏览/下载：359/0  |  提交时间：2019/09/17
疵病检测仪  多体系统  精度模型  精度预测  
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：467/146  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：794/166  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:  张德福;  李显凌;  葛川;  倪明阳;  郭抗
caj(4315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/118  |  提交时间：2017/09/17
柔性机构  伪刚体模型  传感器  线性度  标定  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/122  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
光刻物镜主动变形镜像差补偿分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 238-244
作者:  东立剑;  赵磊;  张德福;  于新峰;  倪明阳;  李显凌
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/79  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  主动光学  像散补偿  有限元分析  
高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗;  李朋志
caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：549/132  |  提交时间：2016/07/06
传感器  标定  线性度  柔度矩阵  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/88  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法  
光纤激光精密位移调整技术实验研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 126-131
作者:  王东平;  吴志会;  倪明阳;  李显凌
caj(1193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/104  |  提交时间：2015/04/17
测量  微位移调整  激光弯曲成形  光纤激光  工艺参数  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：640/112  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形