Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 | |
张德福 ; 李显凌
| |
| 2014-07-10 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 7页码:291-298 |
| 摘要 | 针对深紫外光刻投影物镜的像质补偿要求,对偏心调节时的透镜进行受力分析,基于柔度矩阵法设计了一种柔性多弹片透镜支撑结构,研究了透镜面形随调节力的变化规律,采用有限元法分析了调节力与透镜面形峰谷(PV)值、均方根(RMS)值和Fringe Zernike多项式系数之间的关系。计算结果表明:调节时通过降低调节力的大小,可以控制面形劣化程度。采用具有吸收调节力功能的柔性支撑结构后,在50N的驱动力偏心调节时,透镜上表面面形PV值和RMS值分别为2.704nm和0.528nm,透镜下表面面形PV值和RMS值分别为2.984nm和0.571nm。透镜面形的PV值、RMS值及Fringe Zernike多项式系数随调节力线性变化,但是调节力不会改变各种像差的性质,它引入的透镜像差主要为像散。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 光学器件 深紫外光刻 投影物镜 像差补偿 偏心调节机构 调节力 面形 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42873 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张德福,李显凌. 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响[J]. 中国激光,2014(7):291-298. |
| APA | 张德福,&李显凌.(2014).调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响.中国激光(7),291-298. |
| MLA | 张德福,et al."调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响".中国激光 .7(2014):291-298. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响.c（743KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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