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Simplified residual structure and fast deep residual networks 期刊论文
Jilin Daxue Xuebao (Gongxueban)/Journal of Jilin University (Engineering and Technology Edition), 2022, 卷号: 52, 期号: 6, 页码: 1413-1421
作者:  H.-J. Yang;  E.-S. Wang;  Y.-X. Sui;  F. Yan and Y. Zhou
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简化型残差结构与快速深度残差网络 期刊论文
吉林大学学报(工学版), 2021, 页码: 10
作者:  杨怀江;  王二帅;  隋永新;  闫丰;  周跃
浏览  |  Adobe PDF(669Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：118/45  |  提交时间：2022/06/29
浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
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浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/109  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
浏览  |  Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：261/100  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285
作者:  姚长呈;  巩岩
caj(1486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/127  |  提交时间：2017/09/17
光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差  
Evaluation of absorption measurement uncertainty of laser calorimeter by exponential method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 2
作者:  Gu, Y.-Q.;  L.-C. Zhang;  X.-Y. Wu;  L. Mei and G. Shi
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Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者:  Zhang, C.-L.;  L. Xu;  J. Liu;  Z.-L. Ma;  F. Wang;  Y.-Q. Gu;  L. Dai and S.-J. Peng
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Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
Adobe PDF(8729Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/110  |  提交时间：2017/09/11