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面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:  张德福;  李显凌;  葛川;  倪明阳;  郭抗
caj(4315Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：270/90  |  提交时间：2017/09/17
柔性机构  伪刚体模型  传感器  线性度  标定  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/90  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  C. Ge;  M. Ni and K. Guo
Adobe PDF(4471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：302/67  |  提交时间：2017/09/11
Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Zhang, D.-F.;  C. Ge;  X.-L. Li;  M.-Y. Ni and K. Guo
浏览  |  Adobe PDF(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/98  |  提交时间：2017/09/11
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：296/94  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗;  李朋志
caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：299/82  |  提交时间：2016/07/06
传感器  标定  线性度  柔度矩阵  
Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:  Zhang, D.;  C. Ge;  X. Li;  M. Ni;  K. Guo and P. Li
Adobe PDF(823Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/102  |  提交时间：2016/08/24