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| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波; 李春; 金春水; 王春忠 收藏  |  浏览/下载:252/0  |  提交时间:2017/09/17 薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143 作者: 王君; 王丽萍; 金春水; 苗亮; 谢耀 caj(1576Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/100  |  提交时间:2016/07/06 光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 |
| 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418 作者: 王珣; 金春水; 李春; 匡尚奇 caj(1793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:289/115  |  提交时间:2016/07/06 薄膜 极紫外保护层 直流反应磁控溅射 迟滞回线 |
| 光纤相移点衍射干涉仪关键技术 期刊论文 红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259 作者: 张宇; 金春水; 马冬梅; 王丽萍 caj(1235Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:283/98  |  提交时间:2016/07/06 高精度检测 光纤相移点衍射干涉仪 光学系统波像差 激光光源 光纤 |
| 光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142 作者: 代晓珂; 金春水; 王丽萍; 于杰 caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:371/115  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 极紫外光刻 光纤点衍射 球面参考源 偏振控制 |
| 点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862 作者: 代晓珂; 金春水; 于杰 caj(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:369/110  |  提交时间:2015/04/17 光学检测 点衍射干涉仪 波面参考源 误差研究 公差分析 |
| 极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150 作者: 王君; 金春水; 王丽萍; 郭本银; 喻波 caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:494/181  |  提交时间:2015/04/17 成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 |
| ArF准分子激光对氟化物高反射薄膜的诱导损伤 期刊论文 激光技术, 2014, 期号: 3, 页码: 302-306 作者: 常艳贺; 金春水; 李春; 邓文渊; 靳京城 caj(4080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:287/75  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 激光损伤 氟化物 聚集密度 电场强度分布 |
| 极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305 作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波; 金方圆 caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:423/105  |  提交时间:2015/04/17 薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 |
| 极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文 中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88 作者: 王珣; 金春水; 匡尚奇; 喻波 caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:415/138  |  提交时间:2015/04/17 极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 |