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小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计
陈晨曦阳; 金春水; 王君; 谢耀
2018
Source Publication中国光学
Issue02Pages:265-278
Abstract近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)谱包含了吸收原子的局域结构信息,由于其适用范围广,灵敏度高,已经成为研究物质结构的重要手段之一。为了研究有机物的碳1s NEXAFS谱,本文基于气体激光等离子体X射线光源,采用具有平场特性的凹面变线距光栅作为分光元件,面阵CCD作为光谱探测器,设计了一台小型掠入射式近边X射线吸收谱仪。通过优化光栅和CCD的装配方案,得到了入射角88.6°的装配参数。利用光线追迹法分析了谱仪的分辨率,该谱仪工作波段2~5 nm,在4.4 nm处分辨率可达666。通过分析各结构参量误差对谱线半高宽的影响发现,半高宽对入射角的误差最为敏感,优化的装配方案可以实现入射角的高精度调节。利用氮气等离子体光谱测试了光谱仪的性能,结果显示分辨率达到设计指标。
Keyword光谱仪 近边X射线吸收 掠入射 优化的装配方案 分辨率
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61495
Collection中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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GB/T 7714
陈晨曦阳,金春水,王君,等. 小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计[J]. 中国光学,2018(02):265-278.
APA 陈晨曦阳,金春水,王君,&谢耀.(2018).小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计.中国光学(02),265-278.
MLA 陈晨曦阳,et al."小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计".中国光学 .02(2018):265-278.
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